簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "郭鴻飛".cadvisor (精準) and year="102"


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    投影式微影之光源模態最佳化研究
    • 自動化及控制研究所 /102/ 碩士
    • 研究生: 吳韋辰 指導教授:
    • 微影製程有兩項重要指標,一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上,二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…
    • 點閱:533下載:33

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    六軸串連式機械手臂的路徑規劃分析應用PID與滑動模型控制器
    • 自動化及控制研究所 /102/ 碩士
    • 研究生: 鄧本賢 指導教授:
    • 本論文致力於分析六軸串連式機械手臂的路徑規劃。傳統的路徑規劃是以初始位置,末位置及軌跡長短來做計算。應用一個修正的滑動模型控制器取代傳統的PID控制器。修正的滑動模型控制是要解決傳統滑動模型控制器的…
    • 點閱:336下載:11
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